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KLA-Tencor Surfscan SP2 顆粒檢測(cè)儀是一款先進(jìn)的掩模和晶圓檢測(cè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路(IC)制造過(guò)程中的缺陷檢測(cè)與分類(lèi)。 該系統(tǒng)采用先進(jìn)的光學(xué)、電學(xué)和機(jī)械組件，能夠檢測(cè)并糾正各種類(lèi)型的掩模和晶圓上的缺陷。 Surfscan SP2使用專(zhuān)li技術(shù)和高精度成像技術(shù)，能夠在微觀(guān)水平上捕捉細(xì)節(jié)，并與參考模型進(jìn)行比較，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)掩模和晶片表面制造缺陷的可靠檢測(cè)和識(shí)別

KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測(cè)儀是一種用于晶圓檢測(cè)和計(jì)量的系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該設(shè)備由KLA-Tencor公司生產(chǎn)，具有多種功能和特點(diǎn)。 功能與應(yīng)用： 表面分析：SFS6420是一種多功能的表面分析工具，能夠檢測(cè)、計(jì)數(shù)和測(cè)量亞微米級(jí)顆粒，適用于多晶硅和鎢等粗糙表面。 缺陷檢測(cè)：該系統(tǒng)可以進(jìn)行高分辨率的缺陷檢測(cè)，包括掩模對(duì)準(zhǔn)和覆蓋精度的檢測(cè)。